| No.7-033 | 研究開発用マグネトロンスパッタリング（クリーンルーム利用料込） |
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| 機器の概要 | 磁界を発生させて不活性ガスをイオン化し、高速でスパッタリングする装置。 |
| 備品の用途 | 電極材料の作製 |
| 仕様 | 基板サイズ：100 mm□ |
| メーカー名 | 芝浦メカトロニクス |
| 型式 | CFS-4EP-LL |
| 購入年度 | H22年度 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 |
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| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
