| No.7-016 | 走査イオン顕微鏡 |
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| 機器の概要 | 固体試料にイオンビームを照射し発生する二次電子をによって表面観察を行う装置。 |
| 備品の用途 | 最表層の結晶の方位の差異によるコントラストの観察（SIM像） |
| 仕様 | 最大加速電圧:40kV,最大ビーム電流:100nA,ビーム径範囲:30nm〜8μmφ,最小加工線幅:50nm,描画フィールド:2.4×2.4mm,ビーム位置決め精度:1.25nm |
| メーカー名 | （株）エリオニクス |
| 型式 | EIP5400 |
| 購入年度 | H22年度 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 |
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| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
