| No.6-018 | レーザー顕微鏡 |
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| 機器の概要 | 測定対象を安定した高解像度・高コントラストの三次元画像として構築し、非接触かつ短時間で計測が可能。 |
| 備品の用途 | めっき製品などの目視では確認できない表面形状や微細なキズ、レジストの段差等の非接触測定。 |
| 仕様 | 光源：紫色レーザー（波長405nm）、XYステージ構成：300×300mm電動、サンプル最大高さ：200mm、サンプル最大重量：5kg、総合倍率：108～2,016倍（ズーム未使用時）、視野：2,560～128um（ズーム未使用時）、ズーム：光学1-8倍（レーザーのみ）、主な機能：微分干渉観察、プロファイル（高さ・幅）測定、粒子解析、レーザー測定画像のカラー表示 |
| メーカー名 | （株）エビデント |
| 型式 | OLS5100 |
| 購入年度 | R4年度 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 |
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| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
