| No.5-016 | プラズマ処理装置 |
|---|---|
| 機器の概要 | Arガスプラズマを照射する装置 |
| 備品の用途 | 素材の耐プラズマ性評価等を実施する際の負荷装置 |
| 仕様 | RF電源周波数：13.5MHz 電源出力最大：600W チャンバサイズ：800mm✕600mm 電極サイズ：250平方mm プロセス導入ガス：2系統搭載 |
| メーカー名 | |
| 型式 | |
| 購入年度 | 2023 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 | |
| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
