| No.5-008 |
電子線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ） |
| 機器の概要 |
精密機械部品や半導体回路の表面の元素を検出する装置。半導体や精密機械部品の表面の元素分布を調べ、品質評価を行う。 |
| 備品の用途 |
電子銃から放出された電子線を電子レンズにより細く絞り、分析すべき試料に照射することによって発生する特性X線や２次電子線などを観測する装置です。固体試料の表面観察、定性分析、定量分析などが行えます。波長分散型検出器とエネルギー分散型検出器が装備されており、セラミックス、ガラス、金属、高分子材料中の異物同定の他、新素材の開発や品質管理など幅広く利用できます。 |
| 仕様 |
最大ステージ寸法：φ１２５×ｔ１０mm（最大径）、φ５０×ｔ３０mm（最大厚）分析元素範囲：４Be〜９２U 分析機能：EDS/WDSの同時分析可能 分解能：３．５ｎｍ 観察／分析倍率：×２０〜６００，０００ 計測：２次電子三次元計測可能 加速電圧：０．３〜３０ｋV |
| メーカー名 |
株式会社エリオニクス |
| 型式 |
ＥＲＡＸ−８９００ＦＥ |
| 購入年度 |
H20年度 |
| 担当 |
ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） |
料金表をご覧ください。
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| 設備写真 |
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| 参考サイト |
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| お問い合わせ先 |
「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
