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機械試験・機械加工設備

No.4-030 電子線三次元粗さ解析装置

No.4-030 電子線三次元粗さ解析装置
機器の概要 微細形状の三次元粗さ測定と金属分析が可能。
備品の用途 微細形状の三次元形状の測定、表面粗さの測定
仕様 ・Z方向分析能 (凹凸測定):1mm、・XY方向分析能(SEM後):3.5mm、三次元表面解析機能、加速電圧:1〜35KV、倍率:10〜30000倍
メーカー名 (株)エリオニクス
型式 ERA-800
購入年度 H9年度
担当 ものづくり室
機器使用料(消費税込) 料金表をご覧ください。
設備写真
参考サイト
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