| No.4-016 | 超精密形状測定機 |
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| 機器の概要 | 高精度・高分解能を有する非接触三次元測定装置である。 |
| 備品の用途 | 微細形状の寸法・形状を高精度に測定する。 |
| 仕様 | 測定精度X,Y：±(0.5+2.5L/1000)μm、測定精度Z：±(0.1+0.3L/10)μm、測定範囲X,Y,Z：150×150×120mm |
| メーカー名 | 三鷹光器(株)、(株)菱光社 |
| 型式 | NH-3SP |
| 購入年度 | H24年度 |
| 担当 | ものづくり室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 |
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| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
