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機械試験・機械加工設備

No.4-016 超精密形状測定機

No.4-016 超精密形状測定機
機器の概要 高精度・高分解能を有する非接触三次元測定装置である。
備品の用途 微細形状の寸法・形状を高精度に測定する。
仕様 測定精度X,Y:±(0.5+2.5L/1000)μm、測定精度Z:±(0.1+0.3L/10)μm、測定範囲X,Y,Z:150×150×120mm
メーカー名 三鷹光器(株)、(株)菱光社
型式 NH-3SP
購入年度 H24年度
担当 ものづくり室
機器使用料(消費税込) 料金表をご覧ください。
設備写真
参考サイト
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