| No.1-018 | 顕微ラマン分光分析装置 |
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| 機器の概要 | レーザー光を照射し、物質に特有なラマン散乱を観測する装置。2Dおよび3D測定、および偏光ラマン分析が可能。 |
| 備品の用途 | 炭素材料等の構造評価。半導体材料の構造解析、不純物の評価、ウェハ の歪みや応力測定。ポリマーなどの配向性の評価。 |
| 仕様 | 励起波長：532 nm または 785 nm スペクトル範囲： 50 cm-1 〜 3500 cm-1 (高分解能 50 cm-1 〜 1800 cm-1) |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 |
| 型式 | DXR3xi |
| 購入年度 | R5年度 |
| 担当 | 材料・地域資源室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 |
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| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
