| No.1-017 | 原子間力顕微鏡システム |
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| 機器の概要 | カンチレバーと呼ばれる探針と試料の間に作用する原子間力を検出することによって、表面形状などをナノスケールで画像化する装置。 |
| 備品の用途 | 導体、半導体、絶縁体の区別なく表面形状を測定することができる。測定モードを選択することによって、力学物性や電気物性の分布についても評価することができる。 |
| 仕様 | カンチレバー自動交換機能、スキャン範囲XY：200 μm、スキャン範囲Z：15 μm、試料の最大直径：100 mm |
| メーカー名 | 株式会社 日立ハイテク |
| 型式 | AFM5500M |
| 購入年度 | R5年度 |
| 担当 | 材料・地域資源室 |
| 機器使用料（消費税込） | 料金表をご覧ください。 |
| 設備写真 |
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| 参考サイト | |
| お問い合わせ先 | 「設備・機器利用に関するお問い合わせ」をご参照下さい。 |
